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J-GLOBAL ID：201202279593845828   整理番号：12A1589134

自由分子流と音響帯域外において共振しているMEMS磁力計のための設計基準

Design Criteria for MEMS Magnetometers Resonating in Free-Molecule Flow and Out of the Acoustic Bandwidth

著者 (6件)： LANGFELDER G. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  BUFFA C. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  TOCCHIO A. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  FRANGI A. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  LONGONI A. (Politecnico di Milano, Milano, ITA) ,  LASALANDRA E. (ST Microelectronics, Cornaredo (MI), ITA)
資料名： Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium  (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 2012  ページ： 818-822  発行年： 2012年 
JST資料番号： C0958A  ISSN： 1075-6787  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 商品のためのLorentz力ベースMEMS磁力計の理論的及び測定による性能について報告する。熱機械雑音が主な雑音である場合の機械的感度とSN比の詳細な解析により,これらの素子の新しい設計条件が明らかになった。単位変位あたりの静電容量変化における損失が,制動係数が小さくなるので,共振時の変位における利得により打ち消されるので,並列板センシングセルの数を減らして磁力計を設計することが原理的な長所であることが分かった。実験により,感度,フルスケール範囲,直線性の予測が確かめられた。独立部品の静電容量を使用することにより,分解能が素子の原理的限界になることはなく,集積回路に組み込むときの問題が原理的に解決した。

シソーラス用語： *自由分子流 ,  *磁力計 ,  Lorentz力 ,  MEMS ,  集積回路 ,  *SN比 ,  静電容量 ,  制動 ,  共振

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  制御機器一般  (IC02010N)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自由分子流 ,  音響 ,  共振 ,  MEMS ,  磁力計 ,  設計基準