透明な導電性NbドープTiO<sub>2</sub>膜の熱物理的性質

TASAKI Chihiro; OKA Nobuto; YAGI Takashi; TAKETOSHI Naoyuki; BABA Tetsuya; KAMIYAMA Toshihisa; NAKAMURA Shin-ichi; SHIGESATO Yuzo

文献

J-GLOBAL ID：201202279898351809 整理番号：12A0582025

透明な導電性NbドープTiO₂膜の熱物理的性質

Thermophysical Properties of Transparent Conductive Nb-Doped TiO₂ Films

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著者 (8件)： , , , , , , ,
資料名：
巻： 51 号： 3,Issue 1 ページ： 035802.1-035802.5 発行年： 2012年03月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

電気伝導率およびNb濃度によってNbドープTiO₂(Nb:TiO₂)の熱物理的性質を研究した。種々のNb濃度を含むNb:TiO₂膜の熱拡散率を調べ,(1.2~2.1)×10^-6m²s^-1の範囲にあることを見出した。8.5at%のNb濃度を含むNb:TiO₂の熱伝導率は,Wiedemann-Franzの法則に一致して電気伝導率に比例する。Nb:TiO₂膜のフォノンにより担われる熱伝導率λ_phはNb濃度の増大とともに減少した。Nb:TiO₂膜における平均自由行路I_phがNb不純物間の平均距離とほとんど同じであると評価した。結晶粒はI_phよりはるかに大きかった。したがって,Nb不純物によるフォノン散乱がλ_phの変化に対する支配的因子のはずである。(翻訳著者抄録)

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その他の無機化合物の電気伝導 , 比熱・熱伝導一般 , 熱物性一般

引用文献 (35件)：

1) A. Tanaka, M. Hirata, Y. Kiyohara, M. Nakano, K. Omae, M. Shiratani, and K. Koga: Thin Solid Films 518 (2010) 2934.
2) Y. Furubayashi, T. Hitosugi, Y. Yamamoto, K. Inaba, G. Kinoda, Y. Hirose, T. Shimada, and T. Hasegawa: Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 252101.
3) N. Yamada, T. Hitosugi, N. L. H. Hoang, Y. Furubayashi, Y. Hirose, T. Shimada, and T. Hasegawa: Jpn. J. Appl. Phys. 46 (2007) 5275.
4) Y. Furubayashi, N. Yamada, Y. Hirose, Y. Yamamoto, and M. Otani: J. Appl. Phys. 101 (2007) 093705.
5) T. Hitosugi, H. Kamisaka, K. Yamashita, H. Nagawa, Y. Furubayashi, S. Nakao, N. Yamada, A. Chikamatsu, H. Kumigashira, M. Oshima, Y. Hirose, T. Shimada, and T. Hasagewa: Appl. Phys. Express 1 (2008) 111203.

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