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J-GLOBAL ID：201202281098168113   整理番号：12A0717557

モノリシック集積した面外微小鏡

Monolithically integrated out-of-plane micro-mirror

著者 (2件)： MICHAEL Aron (Univ. of New South Wales, School of Electrical Engineering and Telecommunication, Sydney, NSW 2052, AUS) ,  KWOK Chee Yee (Univ. of New South Wales, School of Electrical Engineering and Telecommunication, Sydney, NSW 2052, AUS)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 179  ページ： 263-276  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい微小ブリッジの中心部分に垂直微小鏡をモノリシック集積した。微小ブリッジの共振周波数を推定するための定式化及び微小鏡との集積を示した。(110)珪素をTMAH湿式エッチングして垂直微小鏡を作製した。初期面外偏向は27μmであった。微小鏡のオン及びオフ位置の切換時間はそれぞれ2.5msと1.7msであった。微小鏡は故障せずに1000万回連続動作し,110g振幅までの振動に対して状態を頑健に維持した。挿入,分離,分極に依存する損失はそれぞれ1.3dB,>60dB,<0.12dBであった。1300nm波長の挿入損は0.9dBであった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *集積 ,  *反射鏡 ,  共振周波数 ,  時間 ,  挿入損 ,  アクチュエータ ,  *光スイッチ
準シソーラス用語： *モノリシック集積化 ,  切換時間 ,  *微小鏡

分類 (1件)： その他の光伝送素子  (BD06040S)

タイトルに関連する用語 (2件)： モノリシック集積 ,  微小鏡