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J-GLOBAL ID：201202281121010190   整理番号：12A0274198

EUV応用のためのMg/Co周期多層膜の熱安定性の研究

Investigation of the thermal stability of Mg/Co periodic multilayers for EUV applications

著者 (15件)： HU M.-H. (UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...) ,  GUEN K. (UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...) ,  ANDRE J.-M. (UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...) ,  ZHOU S. K. (Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China) ,  LI H. C. (Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China) ,  ZHU J. T. (Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China) ,  WANG Z. S. (Tongji Univ., Inst. of Precision Optical Engineering, Dep. of Physics, 200092, Shanghai, P.R. China) ,  MENY C. (CNRS UMR 7504, Inst. de Physique et Chimie des Materiaux de Strasbourg, 23 rue du Loess, BP 43, 67034, Strasbourg ...) ,  MAHNE N. (CNR-IOM Laboratorio TASC, SS 14 km 163,5, 34149, Basovizza, Trieste, ITA) ,  GIGLIA A. (CNR-IOM Laboratorio TASC, SS 14 km 163,5, 34149, Basovizza, Trieste, ITA) ,  NANNARONE S. (CNR-IOM Laboratorio TASC, SS 14 km 163,5, 34149, Basovizza, Trieste, ITA) ,  NANNARONE S. (Universita di Modenae R.E., Dipartimento Ingegneria Materiali, via Vignolese 905/a, Modena, ITA) ,  ESTEVE I. (Univ Paris 06 et 07, CNRS UMR 7590, Inst. de Mineralogie et de Physique des Milieux Condenses, 4 place Jussieu ...) ,  WALLS M. (Univ Paris Sud, Lab. de Physiques des Solides, CNRS UMR 8502, 91405, Orsay, FRA) ,  JONNARD P. (UPMC Univ Paris 06, CNRS UMR 7614, Lab. Chimie Physique-Matiere Rayonnement, 11 rue Pierre et Marie Curie, 75231 ...)
資料名： Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 106  号： 3  ページ： 737-745  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 400°Cまでの焼なまし効果を調べた。走査型トンネル顕微鏡画像と電子エネルギー損失分光法(EELS)は多層構造の良好な品質を示した。焼なまし温度>300°CではEUV反射率が低下した。X線放出分光法によりMg/Co多層膜内のMgの化学状態を決定した。NMRを用いてCo原子の化学状態を調べ,走査電子顕微鏡でMg/Co多層膜の断面を観察し,305°C焼なましによるスタックの形態変化を明らかにした。これは観測した反射率低下を説明する。Copyright 2011 Springer-Verlag Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *極端紫外線 ,  *多層膜 ,  金属薄膜 ,  *熱安定性 ,  焼なまし ,  電子顕微鏡観察 ,  電子エネルギー損失分光法 ,  反射率 ,  NMR【磁気共鳴】 ,  スペクトル
準シソーラス用語： NMRスペクトル

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (8件)： EUV ,  応用 ,  Mg ,  CO ,  周期 ,  多層膜 ,  熱安定性 ,  研究