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J-GLOBAL ID：201202281611468039   整理番号：12A1668388

走査型電子顕微鏡観察と集束イオンビームのためのその場プローブ技術を利用した局所化グラウンディング,開削,破壊: 岩石の光沢面での実験

Localized Grounding, Excavation, and Dissection Using In-Situ Probe Techniques for Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscopy: Experiments With Rock Varnish

著者 (3件)： DITTO Jeffrey (Univ. Oregon, Oregon) ,  KRINSLEY David (Univ. Oregon, Oregon) ,  LANGWORTHY Kurt (Univ. Oregon, Oregon)
資料名： Scanning  (Scanning)
巻： 34  号： 5  ページ： 279-283  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： D0300B  ISSN： 0161-0457  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 岩石の微細構造や成分を表面分析や微量分析する場合,岩石を破壊して,走査型電子顕微鏡で観察することが検討されている。局所化グラウンディング,開削,破壊などの機能を実現するためには,その場プローブ技術の開発が必要であった。本論文では,走査型電子顕微鏡観察と集束イオンビームのためのその場プローブ技術について検討した。マイクロマニピュレータを備えた二重ビーム集束イオンビーム顕微鏡を構築した。集束イオンビームでのイオンミリングのためのその場マイクロマニピュレータで,チャージ収集,サンプル操作,開削,破壊などの機能を実現した。その場プローブ技術で岩石光沢面を観測した。この観測結果を詳細に説明した。この結果,マイクロマニピュレータを備えた二重ビーム集束イオンビーム顕微鏡は,材料科学,半導体研究,破壊解析のための有用なツールであることを実証した。また,マイクロマニピュレータを利用することで,特定用途向けの透過型電子顕微鏡のための箔を調製できる。その場マイクロマニピュレータが広く応用できる。

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  *走査電子顕微鏡 ,  透過型電子顕微鏡 ,  イオンエッチング ,  微量分析 ,  微細構造 ,  *岩石 ,  *顕微鏡観察 ,  ビーム集束 ,  プローブ ,  *マニピュレータ ,  超精密加工
準シソーラス用語： イオンミリング ,  グラウンディング ,  マイクロマニピュレータ ,  走査型電子顕微鏡

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  岩石学一般  (DE07010X)

タイトルに関連する用語 (11件)： 走査型電子顕微鏡 ,  観察 ,  集束イオンビーム ,  プローブ ,  局所化 ,  グラウンディング ,  開削 ,  破壊 ,  岩石 ,  光沢 ,  実験