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J-GLOBAL ID：201202281775297960   整理番号：12A0757355

フレキシブル容量触覚センサのためのVUVおよびVUV/O₃処理によるポリ(エチレン テレフタル酸エチレン)(PET)の表面改質

Surface Modification of poly (ethylene terephthalate) (PET) by VUV and VUV/O₃ treatments for flexible capacitive tactile sensors

著者 (3件)： KASAHARA T. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  SHOJI S. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  MIZUNO J. (Waseda Univ., Tokyo, JPN)
資料名： International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM)  (International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM))
巻： 2012  ページ： ROMBUNNO.TD2-2  発行年： 2012年04月17日 
JST資料番号： L6010B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *表面改質 ,...
準シソーラス用語： VUV ,...

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分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の感覚  (EJ13040X) ,  計測機器一般  (AD02000X)

物質索引 (2件)： エチレン ,  テレフタル酸エチレン

タイトルに関連する用語 (7件)： 触覚センサ ,  VUV ,  O3 ,  エチレン ,  テレフタル酸エチレン ,  PET ,  表面改質