文献

J-GLOBAL ID：201202284020493599   整理番号：12A1584242

誘導結合プラズマ中の放電縞のセル中粒子/モンテカルロシミュレーション

Particle-in-Cell/Monte Carlo Collision Simulations of Striations in Inductively Coupled Plasmas

著者 (1件)： DENPOH Kazuki (Tokyo Electron Yamanashi Ltd., Yamanashi, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 10,Issue 1  ページ： 106202.1-106202.7  発行年： 2012年10月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘導結合プラズマ(ICP)中に放電縞は,源電流を駆動するコイルの下に一連の繭として現れる。本研究では,セル中粒子/モンテカルロ衝突法を使って,ICP中の放電縞をシミュレートした。放電縞特性に圧力のシミュレートした効果は実験観測結果と良く一致した。放電縞があるICPの放電構造と電子加熱機構は通常のICPのものとは大きく異なることが分った。特に,電子加熱は放電縞があるICPでは1rfサイクル当たり1回起こるが,通常のICPでは2回起こる。放電縞があるICP中の電子加熱は,ほぼイオン密度と同じ電子密度の振動運動から生じる強い自己励起電場によって起こり,その結果,高い電子温度が生じる。さらに,放電縞の周期と放電空間との関係をrf放電中の放電縞が発生する規準として提案した。放電縞は,イオンが原因となったプラズマ発生の領域が,プラズマが失われる壁に隣接しているとき起こる傾向がある。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *誘導結合プラズマ ,  *放電縞 ,  シミュレーション ,  シミュレータプログラム ,  圧力効果 ,  加熱 ,  電子温度 ,  高周波放電
準シソーラス用語： モンテカルロシミュレーション ,  PIC法 ,  電子加熱

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (28件)：

• 1) J. R. Roth. Industrial Plasma Engineering (IOP Publishing, Bristol, U.K., 1995) Vol.1, p.289.
• 2) A. S. Penfold, J. A. Thornton, and R. C. Warder, Jr.: Czech. J. Phys. 23 (1973) 431.
• 3) J. A. Stittsworth and A. E. Wendt: IEEE Trans. Plasma. Sci. 24 (1996) 125.
• 4) R. R. Arslanbekov and V. I. Kolobov: IEEE Trans. Plasma. Sci. 33 (2005) 354.
• 5) G. I. Sukhinin and A. V. Fedoseev: High Temp. 44 (2006) 157.

タイトルに関連する用語 (4件)： 誘導結合プラズマ ,  放電縞 ,  セル ,  モンテカルロシミュレーション