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J-GLOBAL ID：201202284873378609   整理番号：12A1712028

気体流スパッタリング時の基板上のFe立方体粒子の成長

Growth of Fe cubical particles on substrates during gas flow sputtering

著者 (5件)： SAKUMA Hiroshi (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN) ,  SAKAMOTO Shinichi (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN) ,  NAOI Akimasa (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN) ,  SAITO Yusuke (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN) ,  ISHII Kiyoshi (Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30  号： 6  ページ： 061604-061604-6  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 気体流スパッタリング時に形成したFe微粒子の形状を調べた。平均粒径が80nmと平均粒径が20nmの切頭した十二面体粒子の同時形成をAr気体流中で観測した。基板上に蒸着した切頭十二面体粒子は成長して小粒子と衝突してその形状を変化させた。短い基板-ターゲット距離又は高い気体流速の条件下では,新しい形状で体心立方構造の{100}ファセット及び段階状構造を立方体の端に有する粒子が形成された。一方,長い基板-ターゲット距離と低い気体流速の条件下では,小粒子で覆われたほぼ球形の凝集粒子が形成された。この挙動は本論文で「気体流エネルギー」と呼ぶ小粒子の運動エネルギーで説明される。これは基板上の切頭十二面体粒子と衝突する前の小粒子の速度の関数である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： スパッタリング ,  気体流 ,  *結晶成長 ,  *微粒子 ,  多面体 ,  運動エネルギー ,  鉄 ,  *核形成 ,  結晶粒粗大化 ,  *粒子成長 ,  エネルギー ,  力学量 ,  改変

分類 (1件)： 金属の結晶成長  (BK13030M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 気体流 ,  スパッタリング ,  Fe ,  立方体 ,  成長