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J-GLOBAL ID：201202286969635214   整理番号：12A0590049

自己変位検出型静電櫛歯等価回路モデルを用いたMEMS振動ジャイロ解析

著者 (5件)： 徳崎博幸 (京大 大学院) ,  平井義和 (京大 大学院) ,  菅野公二 (京大 大学院) ,  田畑修 (京大 大学院) ,  土屋智由 (京大 大学院)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th  ページ： ROMBUNNO.16P-E3-9  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ケイ素 ,  半導体チップ ,  *MEMS ,  *電極 ,  等価回路 ,  変位測定 ,  *ジャイロスコープ ,  *振動モード ,  *単結晶 ,  回路解析 ,  過渡解析 ,  半導体材料 ,  電圧依存性 ,  共振周波数
準シソーラス用語： 櫛型電極 ,  平行平板電極 ,  SOG

分類 (3件)： 力学  (BA04000D) ,  混成集積回路  (NC03163K) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 自己 ,  変位 ,  櫛歯 ,  等価回路モデル ,  MEMS ,  振動ジャイロ ,  解析