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J-GLOBAL ID：201202287147506699   整理番号：12A0395745

基板の温度調整で制御する,rfマグネトロンスパッタリングによるNiZnフェライトナノ結晶薄膜の形成

Formation of NiZn ferrite nano-crystalline thin films by rf magnetron sputtering with changing substrate temperatures

著者 (5件)： YANAGIHARA M. (Dep. of Chemistry and Chemical Biology, Graduate School of Engineering, Gunma Univ., Tenjin-cho 1-5-1, Kiryu, Gunma ...) ,  KAWANO K. (TAIYO YUDEN CO., LTD., Materials Res. & Dev. Div., General R&D Laboratories, Nakamuroda 5607-2, Takasaki, Gunma ...) ,  HONDA T. (Dep. of Chemistry and Chemical Biology, Graduate School of Engineering, Gunma Univ., Tenjin-cho 1-5-1, Kiryu, Gunma ...) ,  KYOMEN T. (Dep. of Chemistry and Chemical Biology, Graduate School of Engineering, Gunma Univ., Tenjin-cho 1-5-1, Kiryu, Gunma ...) ,  HANAYA M. (Dep. of Chemistry and Chemical Biology, Graduate School of Engineering, Gunma Univ., Tenjin-cho 1-5-1, Kiryu, Gunma ...)
資料名： Thermochimica Acta  (Thermochimica Acta)
巻： 532  ページ： 145-147  発行年： 2012年03月20日 
JST資料番号： E0350C  ISSN： 0040-6031  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： rfマグネトロンスパッタリングにより,スパッタリング中の基板温度を200から700°Cに変化させて,石英ガラス基板上にNiZnフェライト,Ni_0.5Zn_0.5Fe₂O₄薄膜を形成した。その膜を構成するNiZnフェライト結晶のサイズは,基板温度を変化させることにより,10nm以下から約40nmまで制御できることが示された。結晶サイズ~40nmのナノ結晶NiZnフェライト薄膜は,~2GHzまで一定の透磁率を示した。それで,GHz-周波数領域で作動可能な磁気素子材料として,ナノ結晶フェライト薄膜が可能性を持つことを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *ニッケルフェライト ,  *亜鉛フェライト ,  ナノ結晶 ,  透磁率 ,  基板温度 ,  薄膜成長 ,  石英ガラス
準シソーラス用語： *亜鉛ニッケルフェライト

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 温度調整 ,  RFマグネトロンスパッタリング ,  NiZnフェライト ,  ナノ結晶薄膜