文献

J-GLOBAL ID：201202287158346456   整理番号：12A1092703

キャピラリー大気圧プラズマジェットを使用したポリマ表面への官能基のミクロパターン形成

Micro-patterning of Functional Groups onto Polymer Surface Using Capillary Atmospheric Pressure Plasma Jet

著者 (3件)： MOTRESCU Iuliana (Shizuoka Univ.) ,  OGINO Akihisa (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  NAGATSU Masaaki (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 25  号： 4  ページ： 529-534  発行年： 2012年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 一層のバイオセンサ応用用にポリマ表面へミクロ寸法官能化パターンを生成するために,ミクロキャピラリー大気圧プラズマジェットを使用した。2段階ピロセスが,官能性を有するパターンを創成する最良の解であることが分かった。官能化の成功及びパターンの特性を二つの電極構成で,処理時間のような放電条件の関数として研究した。フォトレジスト膜の表面に,300μm間隔で20μm直径の均一ドットが生成した。同じ手順を,ポリエチレン及びポリウレタンのような他のポリマ表面の場合で適用した,そこでは最初の場合よりも,ポリマシートに対する前処理及び処理に長い時間が必要であった。処理前の表面活性化の重要性を議論した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 放電 ,  *プラズマジェット ,  大気プラズマ ,  ポリエチレン ,  ポリウレタン ,  *パターン形成 ,  微細加工 ,  バイオセンサ ,  官能化 ,  *フォトレジスト ,  前処理 ,  活性化 ,  *表面加工
準シソーラス用語： *ミクロパターン形成 ,  大気圧プラズマ ,  表面活性化

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

引用文献 (12件)：

• 1. T. von Woedtke, M. Junger, T. Kocher, A. Kramer, J. Lademann, U. Lindequist, K-D. Weltmann, IFMBE Proceedings, 25 (20120), 82.
• 2. H. Eto, Y. Ono, A. Ogino, M. Nagatsu, Appl. Phys. Lett. 93 (2008), 221502.
• 3. Q. S. Yu, C. Hunag, F. H. Hsieh, H. Huff, Y. Duan,Appl. Phys. Lett. 88 (20006) 013903.
• 4. H. Nakahiro, P. Zhao, A. Ogino, W. Zheng, Y. Meng, M. Nagatsu,Appl. Phys. Express 5 (2012) 056201-1.
• 5. R. Kakei, A. Ogino, F. Iwata, M. Nagatsu, Thin Solid Films 518 (2010), 3457.

タイトルに関連する用語 (5件)： キャピラリー ,  大気圧プラズマジェット ,  ポリマ ,  官能基 ,  ミクロパターン形成