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J-GLOBAL ID：201202289734685230   整理番号：12A1562936

In₂O₃系透明酸化物薄膜の熱拡散率とその温度依存性

著者 (10件)： 吉川透 (青山学院大 理工) ,  岡伸人 (青山学院大 理工) ,  JIA Junjun (青山学院大 理工) ,  八木貴志 (産業技術総合研) ,  山下雄一郎 (産業技術総合研) ,  竹歳尚之 (産業技術総合研) ,  馬場哲也 (産業技術総合研) ,  服部浩一郎 (産業技術総合研) ,  清野豊 (産業技術総合研) ,  重里有三 (青山学院大 理工)
資料名： Thermophysical Properties  (Thermophysical Properties)
巻： 33rd  ページ： 47-49  発行年： 2012年10月03日 
JST資料番号： X0031A  ISSN： 0911-1743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 酸化インジウム ,  *薄膜 ,  *温度伝導率 ,  温度依存性 ,  *化合物半導体 ,  電気抵抗
準シソーラス用語： IGZO【半導体】 ,  酸化物薄膜 ,  熱拡散率

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  結晶中のフォノン・格子振動  (BL03020Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 酸化物薄膜 ,  熱拡散率 ,  温度依存性