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J-GLOBAL ID：201202291458191761   整理番号：12A1288896

酸化亜鉛膜の原子層堆積:トライボロジー性能に対するナノ結晶特性の影響

Atomic layer deposition of zinc oxide films: Effects of nanocrystalline characteristics on tribological performance

著者 (3件)： CHAI Zhimin (The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  LU Xinchun (The State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  HE Dannong (National Engineering Res. Center for Nanotechnology and Application, Shanghai 200241, CHN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 207  ページ： 361-366  発行年： 2012年08月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層堆積(ALD)により作製した酸化亜鉛(ZnO)固体潤滑膜の構造とトライボロジー性能を研究した。ジエチル亜鉛(DEZ)および水に順次暴露することでSi基板上に厚さ~100nmの膜を堆積した。膜の微細構造を基板温度の調整により制御した。膜の表面形態を走査プローブ顕微鏡(SPM)により測定した。微細構造を,透過電子顕微鏡(TEM)とX線回折(XRD)により調べた。膜の硬度と弾性率はナノインデンテーションにより測定した。摩擦係数はボール-オン-ディスク型乾燥すべり摩擦実験により評価した。結果は,300°Cで堆積した膜は均一なサイズの円柱状結晶粒を有し,150°Cで堆積した膜の結晶粒は大きいピークを有し均一でないことを示した。c軸配向した基板に対して平行な(002)面を有する膜が基板温度300°Cで得られ,150°Cでは(100)および(101)のような他の配向が得られた。TEMおよび制限視野回折(SAD)の結果は,ZnO膜のナノ結晶特性を示した。ナノ結晶特性により,膜の延性は大きく増大した。結果として,環境空気においてZnO膜は低い摩擦係数と長い摩耗寿命を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 基板 ,  ケイ素 ,  結晶方位 ,  *化学蒸着 ,  単原子層 ,  *酸化亜鉛 ,  *半導体薄膜 ,  *トライボロジー ,  有機亜鉛化合物 ,  水 ,  微細構造 ,  基板温度 ,  形態 ,  表面構造 ,  *硬度 ,  *弾性係数 ,  ナノインデンテーション ,  *摩擦係数 ,  ナノ結晶 ,  結晶粒 ,  延性
準シソーラス用語： *ALD【蒸着】 ,  Si(111) ,  原子層堆積 ,  弾性率 ,  表面形態

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

物質索引 (1件)： ジエチル亜鉛

タイトルに関連する用語 (4件)： 酸化亜鉛 ,  原子層堆積 ,  トライボロジー ,  ナノ結晶