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J-GLOBAL ID：201202291799643962   整理番号：12A0248610

Sb-Ge-Sn-Sカルコゲン化物ガラス上にインプリントすることによって作製した赤外偏光子

Infrared Polarizer Fabrication by Imprinting on Sb-Ge-Sn-S Chalcogenide Glass

著者 (7件)： YAMADA Itsunari (Univ. Shiga Prefecture, Shiga, JPN) ,  YAMASHITA Naoto (Isuzu Glass Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  TANI Kunihiko (Isuzu Glass Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  EINISHI Toshihiko (Isuzu Glass Co., Ltd., Osaka, JPN) ,  SAITO Mitsunori (Ryukoku Univ., Otsu, JPN) ,  FUKUMI Kouhei (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Osaka, JPN) ,  NISHII Junji (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 1,Issue 1  ページ： 012201.1-012201.4  発行年： 2012年01月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 500nmピッチのAl回折格子から成るワイヤグリッド型赤外偏光子を,低毒性カルコゲナイドガラス(Sb-Ge-Sn-S系)上でのサブ波長回折格子の直接インプリントに続く真空蒸着によるAl金属堆積によって作製した。カルコゲナイドガラス上にサブ波長回折格子をさらに簡単に作製するために,鋭角な回折格子を成形表面に形成した。130nmのAl厚さで作製した偏光子は,5~9μmの波長範囲で60%以上の垂直偏波の透過率,並びに,3.5~11μmの波長範囲で20dB以上の消光比を有する偏光機能を示した。厚さ180nmのAlワイヤ素子の消光比は,5.4μm波長で27dBを達成した。従来の赤外偏光子と比較して,さらに低いコストと単純なプロセスで偏光子を作製することができた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *偏光子 ,  *赤外線 ,  カルコゲン化物ガラス ,  *回折格子 ,  アルミニウム ,  誘導結合プラズマ ,  RIE【エッチング】 ,  真空蒸着 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  赤外スペクトル ,  偏波 ,  消光比 ,  膜厚
準シソーラス用語： *ワイヤグリッド偏光子 ,  光透過スペクトル ,  垂直偏波 ,  偏光板

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

引用文献 (26件)：

• 1) J. Bremer, O. Hunderi, K. Fanping, T. Skauli, and E. Wold: Appl. Opt. 31 (1992) 471.
• 2) M. Vollmer, S. Henke, D. Karstadt, K. P. Möllmann, and F. Pinno: Inframation 2004, Proc. ITC, 2004, p.104.
• 3) G. P. Nordin, J. T. Meier, P. C. Degzman, and M. W. Jones: J. Opt. Soc. Am. A 16 (1999) 1168.
• 4) G. R. Bird and W. A. Shurcliff: J. Opt. Soc. Am. 49 (1959) 235.
• 5) G. R. Bird and M. Parrish: J. Opt. Soc. Am. 50 (1960) 886.

タイトルに関連する用語 (4件)： カルコゲン化物ガラス ,  作製 ,  赤外 ,  偏光子