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J-GLOBAL ID：201202291825921410   整理番号：12A0779919

結合マイクロカンチレバを用いた単結晶シリコンのYoung率異方性を決定する単純手法

A SIMPLE TECHNIQUE TO DETERMINE THE ANISOTROPY OF YOUNG’S MODULUS OF SINGLE CRYSTAL SILICON USING COUPLED MICRO-CANTILEVERS

著者 (4件)： BOYD E. J. (Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR) ,  CHOUBEY B. (Univ. Glasgow, Glasgow, GBR) ,  ARMSTRONG I. (Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR) ,  UTTAMCHANDANI D. (Univ. Strathclyde, Glasgow, GBR)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.1  ページ： 389-391  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,単一微小共振器から測定した周波数応答を用いて微小共振器の結合システムを完全に特性評価できることが報告されている。本論文では,結合システムにおける多数微小機械構造のYoung率を同時に決定する単純で新しい手法につき報告した。本手法を用いた非擾乱および擾乱状態における単一カンチレバ測定により,結合カンチレバアレイのYoung率測定が可能であることを示した。また本手法は,一シリーズのカンチレバセンサの測定を希望するMEMSセンサアレイといった他の応用で有効になると思われる。

シソーラス用語： 片持梁 ,  ケイ素 ,  単結晶 ,  *異方性 ,  マイクロマシン ,  *Young率 ,  センサアレイ
準シソーラス用語： *マイクロカンチレバー ,  *単結晶シリコン ,  微小機械

分類 (2件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロカンチレバ ,  単結晶シリコン ,  Young率 ,  異方性 ,  手法