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J-GLOBAL ID：201202292179217188   整理番号：12A1187684

カーボンナノチューブのレーザー支援化学蒸着成長の閉ループ制御

Closed-loop control of laser assisted chemical vapor deposition growth of carbon nanotubes

著者 (5件)： VAN DE BURGT Yoeri (Dep. of Mechanical Engineering, Eindhoven Univ. Technol., Den Dolech 2, Eindhoven, NLD) ,  BELLOUARD Yves (Dep. of Mechanical Engineering, Eindhoven Univ. Technol., Den Dolech 2, Eindhoven, NLD) ,  MANDAMPARAMBIL Rajesh (Dep. of Mechanical Engineering, Eindhoven Univ. Technol., Den Dolech 2, Eindhoven, NLD) ,  HALUSKA Miro (Micro and Nanosystems, ETH Zurich, 8092 Zurich, CHE) ,  DIETZEL Andreas (Dep. of Mechanical Engineering, Eindhoven Univ. Technol., Den Dolech 2, Eindhoven, NLD)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 112  号： 3  ページ： 034904-034904-8  発行年： 2012年08月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザー支援化学蒸着成長は,温度に敏感な基板上の選択した場所に局所的に整列したナノチューブを成長させるための魅力的なマスクレスプロセスである。ナノチューブの首尾良く再現性のある合成に必須のパラメータは成長時の温度である。ここでは,著者らは反射率の情報と連動した赤外放射の動的その場モニタリングに基づく温度フィードバック制御機構を実証する。これらのセンサによって与えられた情報により,酸化アルミニウムと鉄触媒層で覆われたシリコン基板上に集光された赤外レーザーを制御できる。成長はアルゴン(キャリアガス),水素(プロセスガス),エチレン(炭素含有ガス)の混合ガス中で生じる。走査型電子顕微鏡とRaman分光分析により,複数の実験にわたる閉ループ制御プロセスの優れた再現性を示す。さらに,著者らは反射されたレーザービームのゆらぎを監視することにより,触媒の形成及び活性化の発現を確認するためのユニークな方法を開発した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *カーボンナノチューブ ,  *レーザCVD ,  *フィードバック制御 ,  反射率 ,  赤外線 ,  温度 ,  酸化アルミニウム ,  鉄触媒 ,  ウエハ【IC】 ,  赤外レーザ ,  アルゴン ,  キャリアガス ,  水素 ,  気体 ,  混合気体 ,  走査電子顕微鏡 ,  Raman分光分析 ,  再現性 ,  レーザビーム ,  ゆらぎ ,  触媒活性 ,  アルケン
準シソーラス用語： シリコン基板 ,  プロセスガス ,  レーザ化学蒸着 ,  *閉ループ制御

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： エチレン

タイトルに関連する用語 (6件)： カーボンナノチューブ ,  レーザー ,  支援 ,  化学蒸着 ,  成長 ,  閉ループ制御