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J-GLOBAL ID：201202292225631830   整理番号：12A1216934

ブロック共重合体の全トラック誘導自己組織化:プロセスフローと欠陥の起源

All track directed self-assembly of block copolymers: process flow and origin of defects

著者 (9件)： RINCON DELGADILLO Paulina A. (Univ. Wisconsin-Madison, WI) ,  RINCON DELGADILLO Paulina A. (IMEC, Leuven, BEL) ,  GRONHEID Roel (IMEC, Leuven, BEL) ,  THODE Christopher J. (Univ. Wisconsin-Madison, WI) ,  WU Hengpeng (AZ Electronic Materials, NJ) ,  CAO Yi (AZ Electronic Materials, NJ) ,  SOMERVELL Mark (Tokyo Electron America, TX) ,  NAFUS Kathleen (Tokyo Electron America, TX) ,  NEALEY Paul F. (Univ. Wisconsin-Madison, WI)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8323  ページ： 83230D.1-83230D.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ブロック共重合体(BCP)の誘導自己組織化(DSA)は現在のリソグラフィーに優る潜在能力を有するが,技術的に未確立である。今回,著者らの特徴増大プロセスを実装し,初期プリパターンの形状に関する欠陥の起源を調べた。また,プログラムした欠陥を用いてレジストパターンの欠陥を修復するBCPの能力も調べ,検査ツールとしての検出能力を評価した。最後に,BCPと境界条件との相互作用に起因する欠陥の発生を研究できるインフラストラクチャーを整備した。

シソーラス用語： *ブロック共重合体 ,  *自己組織化 ,  *パターン形成 ,  回路パターン形成 ,  解析 ,  フォトレジスト ,  境界条件 ,  相互作用 ,  エピタクシー ,  ナノメータ加工 ,  直線 ,  リソグラフィー
準シソーラス用語： 欠陥解析

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ブロック共重合体 ,  トラック ,  誘導 ,  自己組織化 ,  プロセスフロー ,  欠陥 ,  起源