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J-GLOBAL ID：201202293237702080   整理番号：12A0532348

フレッキシブルアームを有する高速高精度軽量ステージのモデリングと同定

Modeling and Identification of High Speed High Accuracy Lightweight Stages with Flexible Arms

著者 (4件)： FANA S.X. (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  FAN D.P. (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  ZHANG Z.Y. (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN) ,  LU Y.F. (National Univ. Defense Technol., Hunan, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 499  ページ： 247-252  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エレクトロニクス等の分野において高速で稼動する軽量構造物の振動動作制御に関し,フレッキシブルアームを有する位置決めステージの分離した同定方法を提案した。剛体部分とフレッキシブル部分に関するパラメータをそれぞれ同定し,前者の動特性を最初に不偏最小二乗法で同定し,後者を衝撃試験と非線形最小二乗法で同じ処理をする。この方法を用いた実験を行った結果,低周波マグニチュード偏差等が小さく剛体の動特性についてより精度の高い低振動数のパラメータが得られることが判った。

シソーラス用語： 軽量構造 ,  *振動制御 ,  *制御 ,  *ダイナミックポジショニング ,  精度 ,  *マニピュレータ ,  システム同定 ,  模型試験 ,  電子技術 ,  最小二乗法
準シソーラス用語： パラメータ同定 ,  *フレキシブルアーム ,  位置決め制御 ,  位置決め精度 ,  *動作制御

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 軽量 ,  ステージ ,  モデリング ,  同定