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J-GLOBAL ID：201202294637689321   整理番号：12A0597375

高温濡れ及びプラスチックフィルムへの転移によるナノドット形成に関する研究

Study on nano dots formation by thermal dewetting and transfer to plastic films

著者 (3件)： PHUC Truong Duc (Tokyo Inst. of Technol., JPN) ,  YAMANAKA Akinori (Tokyo Inst. of Technol., JPN) ,  YOSINO Masahiko (Tokyo Inst. of Technol., JPN)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A44  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： プラスチック成形 ,  ナノメータ加工 ,  ナノ構造 ,  パターン形成 ,  *アレイ ,  濡れ ,  *プラスチックフィルム
準シソーラス用語： ナノパターン形成 ,  *ナノドットアレイ

分類 (2件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 濡れ ,  プラスチックフィルム ,  ナノドット ,  研究