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J-GLOBAL ID：201202295099911236   整理番号：12A0121696

酸化亜鉛の空間原子層堆積の成長とトランジスタ特性に及ぼすサイクル時間の影響

Cycle time effects on growth and transistor characteristics of spatial atomic layer deposition of zinc oxide

著者 (4件)： NELSON Shelby F. (Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650) ,  LEVY David H. (Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650) ,  TUTT Lee W. (Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650) ,  BURBERRY Mitchell (Kodak Res. Laboratories, Eastman Kodak Co., 1999 Lake Avenue, Rochester, New York 14650)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30  号： 1  ページ： 01A154  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子層堆積した酸化亜鉛膜に対して,サイクル時間変化が電気特性と成長に及ぼす影響を調べた。試料は大気圧で成長させた。空間原子層堆積ヘッドを用いて,0.025sの短いパルス及びパージ時間にアクセスでき,これは有用な材料特性をもたらす領域であると思われる。短いパージ時間は200°Cでの高速成長を可能にし,高い電気抵抗率,より良いトランジスタゲーティング,高い薄膜トランジスタ移動度と相関する。結果を比較し,パージ時間を考慮する必要があることを明らかにした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *化学蒸着 ,  時間 ,  *薄膜トランジスタ ,  薄膜成長
準シソーラス用語： サイクル時間 ,  パージ時間 ,  *原子層堆積

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化亜鉛 ,  原子層堆積 ,  成長 ,  トランジスタ ,  サイクル