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J-GLOBAL ID：201202295356071465   整理番号：12A0669596

クリーンルームの補給空気ユニット(MAU)中で使用されるケミカルフィルターの吸着速度論

Adsorption Kinetics for the Chemical Filters Used in the Make-Up Air Unit (MAU) of a Cleanroom

著者 (2件)： SHIUE Angus (National Taipei Univ. Technol., Taipei, TWN) ,  HU Shih-Cheng (National Taipei Univ. Technol., Taipei, TWN)
資料名： Separation Science and Technology  (Separation Science and Technology)
巻： 47  号： 1-4  ページ： 577-583  発行年： 2012年01月01日 
JST資料番号： D0435B  ISSN： 0149-6395  CODEN： SSTEDS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： およそ70ppmvまでの範囲の供給濃度のトルエン蒸気を能力をためすガスとして使用し,擬似1次,擬似2次,および粒子内モデルを用いて吸着速度論を研究し,速度論的定数を評価し,クリーンルームの補給空気ユニット(MAU)の装備の設計および操作に要求される基本的な情報を提供した。得られた結果から,吸着能力がトルエン濃度の増大と共に増大するが,面速度が増大すると低下することが示された。また,擬似1次速度論モデルが,研究した全範囲に渡り異なる初期トルエン濃度に対して粒状活性炭(GAC)上へのトルエンの吸着に対する動的挙動と非常に良く一致した。トルエンは,粒子内拡散によって粒子中へゆっくりと輸送され,最終的に微小細孔中で保持された。トルエンの吸着は,外部物質移動および粒子内拡散メカニズムの両方によって記述することができた。

シソーラス用語： *フィルタ ,  *吸着速度 ,  *クリーンルーム ,  物質移動 ,  固体内拡散 ,  *給気ダクト ,  活性炭 ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： *ケミカルフィルタ ,  粒子内拡散 ,  粒状活性炭

分類 (2件)： 吸着,イオン交換  (XD02060I) ,  空気浄化  (PC02060X)

物質索引 (1件)： トルエン

タイトルに関連する用語 (4件)： クリーンルーム ,  補給 ,  ケミカルフィルター ,  吸着速度