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J-GLOBAL ID：201202296406844076   整理番号：12A1454651

走査RFプラズマトーチの放電後におけるPTFE表面エッチング

PTFE Surface Etching in the Post-discharge of a Scanning RF Plasma Torch: Evidence of Ejected Fluorinated Species

著者 (7件)： DUFOUR Thierry (Univ. Libre de Bruxelles, Bruxelles, BEL) ,  HUBERT Julie (Univ. Libre de Bruxelles, Bruxelles, BEL) ,  VIVILLE Pascal (Univ. de Mons-Hainaut, Mons, BEL) ,  DULUARD Corinne Y. (Univ. Libre de Bruxelles, Bruxelles, BEL) ,  DESBIEF Simon (Univ. de Mons-Hainaut, Mons, BEL) ,  LAZZARONI Roberto (Univ. de Mons-Hainaut, Mons, BEL) ,  RENIERS Francois (Univ. Libre de Bruxelles, Bruxelles, BEL)
資料名： Plasma Processes and Polymers  (Plasma Processes and Polymers)
巻： 9  号： 8  ページ： 820-829  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： W1950A  ISSN： 1612-8850  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 走査 ,  RFプラズマ ,  トーチ ,  放電 ,  PTFE ,  エッチング