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J-GLOBAL ID：201202299304707677   整理番号：12A0721758

LSI技術での化学センサのインテグレーション 歴史,およびアプリケーション

Integration of Chemical Sensors with LSI Technology - History and Applications -

著者 (3件)： TIXIER-MITA Agnes (Inst. of Industrial Sciences, The Univ. of Tokyo) ,  TAKAHASHI Takuya (Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo) ,  TOSHIYOSHI Hiroshi (Inst. of Industrial Sciences, The Univ. of Tokyo)
資料名： IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)  (IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E95-C  号： 5  ページ： 777-784 (J-STAGE)  発行年： 2012年 
JST資料番号： L1370A  ISSN： 0916-8524  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学センサは密接に半導体技術に関連する研究の最も古い分野の1つである。70年代におけるイオン選択性電界効果トランジスタ(ISFET)から,80年代の終わりからのマイクロ電気機械的な方式(MEMS)検出変換器まで,化学センサはLSIインテリジェンスと90年代のMEMS技術で結合し,複合混合物を分析するために,より選択的,敏感で自律デバイスに工夫された。イオン選択性電界効果トランジスターからこの頃のLSI集積検出変換器までの化学センサの小史が最初に詳しく述べられる。次に,LSI集積化学センサとそれらの広応用の現状について議論する。最終的に長い間,ボトルのように閉環境に保存される食品産業か製薬品などの化学物質のリモート監督のための統合ワイヤレスのMEMS検出変換器の新しい使用法を提案する。そのような場所,そのような環境においては,その場分析が必要である。エネルギー供給かデータ転送のために,電気ケーブルは使用できない。集積MEMSセンサのおかげで,自律長期の本来の場所での質劣化トラッキング装置が可能である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 化学センサ ,  *LSI【IC】 ,  MEMS ,  FET【トランジスタ】 ,  追跡 ,  *化学物質 ,  *センサ
準シソーラス用語： 電界効果トランジスタ ,  トラッキング ,  検出変換器

分類 (1件)： 半導体集積回路  (NC03162T)

引用文献 (38件)：

• HIERLEMANN, A. CMOS-based chemical microsensors. Analyst. 2003, 128, 15-28
• HIERLEMANN, A. Microfabrication techniques for chemical/biosensors. Proc. IEEE. 2003, 91, 6, 839-863
• JOO, S. Chemical sensors with integrated electronics. Chem. Rev. 2008, 108, 2, 638-651
• VLASOV, Y. Non-selective chemical sensors in analytical chemistry : From electronic nose to electronic tongue. Fresenius J. Anal. Chem. 1998, 361, 255-260
• BERGVELD, P. Development of an ion-sensitive solid-state device for neurophysiological measurements. IEEE Trans. Biomed. Eng. 1970, BME-17, 1, 7071

タイトルに関連する用語 (5件)： LSI ,  化学センサ ,  インテグレーション ,  歴史 ,  アプリケーション