特許
J-GLOBAL ID：201203001218722153

基板ホルダ及びめっき装置

発明者：
藤方 淳平

藤方 淳平 について

, 
荒木 裕二

荒木 裕二 について

, 
木村 誠章

木村 誠章 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (3件)： 渡邉 勇 ,  小杉 良二 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-148077
公開番号（公開出願番号）：特開2012-062570
出願日： 2011年07月04日
公開日（公表日）： 2012年03月29日
要約：
【課題】特にシール部材の交換等のメンテナンス性を改善できるようにした基板ホルダを提供する。【解決手段】基板Wの外周部を挟持して基板Wを着脱自在に保持する固定保持部材54及び可動保持部材58と、可動保持部材58に取付けられ、可動保持部材58と固定保持部材54で基板Wを保持した時に、可動保持部材58と基板Wの外周部との間、及び可動保持部材58と固定保持部材54との間をそれぞれシールする内側シール部材66及び外側シール部材68を有し、内側シール部材66及び外側シール部材68は、シールホルダ62と該シールホルダ62に取付けられる固定リング70との間に挟持されて可動保持部材68に取付けられている。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
基板の外周部を挟持して基板を着脱自在に保持する固定保持部材及び可動保持部材と、 前記可動保持部材に取付けられ、前記可動保持部材と前記固定保持部材で基板を保持した時に、前記可動保持部材と基板の外周部との間、及び前記可動保持部材と前記固定保持部材との間をそれぞれシールする内側シール部材及び外側シール部材を有し、 前記内側シール部材及び前記外側シール部材は、シールホルダと該シールホルダに取付けられる固定リングとの間に挟持されて前記可動保持部材に取付けられていることを特徴とする基板ホルダ。
IPC (4件)：
C25D 17/08 ,  C25D 7/12 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/683
FI (4件)：
C25D17/08 Q ,  C25D7/12 ,  H01L21/288 E ,  H01L21/68 N
Fターム (10件)：
4K024AA09 ,  4K024BB12 ,  4K024FA02 ,  4K024GA16 ,  4M104DD52 ,  5F031CA02 ,  5F031HA25 ,  5F031HA48 ,  5F031HA73 ,  5F031MA25
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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