特許
J-GLOBAL ID：201203001819956160
電気機械変換部材、液体吐出ヘッド及び画像形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲元 富保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-201463
公開番号（公開出願番号）：特開2012-059903
出願日： 2010年09月08日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】液体吐出ヘッドを使用してPZT前駆体(ゾルゲル液)を塗布して電気機械変換膜を形成すると、膜厚ムラを生じ、熱処理工程における膜中のクラック発生や電気特性の不具合を生じる。【解決手段】電極上に部分的に表面改質を行う工程と、電極上に金属複合酸化物のゾルゲル液を第1の液体吐出ヘッドから吐出させて部分的に塗布し、パターン化した電気-機械変換膜を形成する工程と、電極上にゾルゲル液とは別の液体を第2の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布する工程と、部分的に塗布されたゾルゲル液を乾燥、熱分解、結晶化する工程と、これらの工程を繰り返して所望の膜厚を得る工程とを行なう。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
(1)電極上に部分的に表面改質を行う工程と
(2)前記電極上に金属複合酸化物のゾルゲル液を第1の液体吐出ヘッドから吐出させて部分的に塗布し、パターン化した電気-機械変換膜を形成する工程と、
(3)前記電極上に前記ゾルゲル液とは別の液体を第2の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布する工程と、
(3)前記部分的に塗布されたゾルゲル液を乾燥、熱分解、結晶化する工程と、
(4)上記(1)ないし(3)の工程を繰り返して所望の膜厚を得る工程と、を行なう
ことを特徴とする電気機械変換部材の製造方法。
IPC (6件)：
H01L 41/22
, B41J 2/16
, H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/18
, H01L 41/24
H01L41/22 Z
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101Z
, H01L41/22 A
2C057AF93
, 2C057AP14
, 2C057AP57
, 2C057AP59
, 2C057BA04
, 2C057BA14
