複合シール材

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人SSINPAT
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-234337
公開番号（公開出願番号）：特開2012-087855
出願日： 2010年10月19日
公開日（公表日）： 2012年05月10日
要約：

【課題】真空シール性能、耐プラズマ性、ならびに耐腐食ガス性などの性能を併せ持ち、また、長期にわたり真空シール性能が低下することなく、使用時に、高荷重下でも、金属パーティクルが発生することがない複合シール材を提供する。【解決手段】第1のシール部材が、複合シール材を圧接した際に、圧接されてシール性が付与されるシール本体部と、シール本体部の軸方向の略中央部より、第2のシール部材側に延設された第1の結合部とを備え、第2のシール部材が、スペーサー部と、スペーサー部の軸方向の両端部より、第1のシール部材側に延設された第2の結合部とを備え、第1のシール部材の第1の結合部に、第2のシール部材の第2の結合部を嵌合することによって、第1のシール部材と第2のシール部材とが一体化された連結部を備える。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

シール溝に装着される複合シール材であって、前記シール溝に装着した際に、シール溝の一方の側壁側に位置する第1のシール部材と、前記シール溝に装着した際に、シール溝の他方の側壁側に位置する第2のシール部材とを備え、前記第1のシール部材が、弾性部材から構成され、前記第2のシール部材が、第1のシール部材よりも硬質の材料から構成された複合シール部材であって、前記第1のシール部材が、前記複合シール材を圧接した際に、圧接されてシール性が付与されるシール本体部と、前記シール本体部の軸方向の略中央部より、第2のシール部材側に延設された第1の結合部とを備え、前記第2のシール部材が、スペーサー部と、前記スペーサー部の軸方向の両端部より、第1のシール部材側に延設された第2の結合部とを備え、前記第1のシール部材の第1の結合部に、第2のシール部材の第2の結合部を嵌合することによって、第1のシール部材と第2のシール部材とが一体化された連結部を備えることを特徴とする複合シール部材。

IPC (1件)：

F16J 15/10

FI (3件)：

F16J15/10 T , F16J15/10 D , F16J15/10 X

Fターム (13件)：

3J040AA17 , 3J040BA03 , 3J040EA01 , 3J040EA15 , 3J040EA17 , 3J040EA25 , 3J040FA06 , 3J040HA02 , 3J040HA06 , 3J040HA07 , 3J040HA21 , 3J040HA23 , 3J040HA30

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭62-220771
シール部品及び基板処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-003059 出願人：東京エレクトロン株式会社, 日本バルカー工業株式会社
特開昭62-220771

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