特許
J-GLOBAL ID：200903089856396424
シール部品及び基板処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (5件)：
別役 重尚
, 村松 聡
, 後藤 夏紀
, 池田 浩
, 二宮 浩康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-003059
公開番号（公開出願番号）：特開2007-120738
出願日： 2006年01月10日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：
【課題】所定のシール用スペースを必要とすることなく、安価であって優れた耐久性を確保することができるシール部品を提供する。【解決手段】シール部品46は大気側が開口する略コ字状の断面形状を有するラジカルシール部材47と、水平方向に沿って配された略瓢箪状の断面形状を有する真空シール部材48と、ラジカルシール部材47及び真空シール部材48が離間して形成する待避空間48d,48eとを有し、ラジカルシール部材47は真空側に配され、真空シール部材48は大気側に配され、ラジカルシール部材47はフッ素樹脂であるポリテトラフルオロエチレン(PTFE)からなり、真空シール部材48はFKMからなり、ラジカルシール部材47のコ字状断面の開口部に真空シール部材48の真空側塊部48aが圧入されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
高弾性高分子物質を侵食する侵食物質が存在する減圧容器を備え、該減圧容器内に収容された基板に所定の処理を施す基板処理装置において前記減圧容器内部を外部からシールするシール部品であって、
前記減圧容器の内部側に配されて前記侵食物質に対する耐性を有する第1の部材と、
前記減圧容器の外部側に配されて前記高弾性高分子物質からなる第2の部材と、
前記第1の部材の少なくとも一部及び前記第2の部材の少なくとも一部が離間して形成される所定の空間とを備え、
前記第1の部材と前記第2の部材とは互いに嵌合することを特徴とするシール部品。
IPC (3件)：
F16J 15/06
, H01L 21/306
, F16J 15/10
F16J15/06 B
, H01L21/302 101B
, F16J15/10 A
, F16J15/10 G
3J040AA17
, 3J040BA01
, 3J040EA01
, 3J040EA15
, 3J040EA25
, 3J040FA05
, 3J040FA07
, 3J040HA07
, 3J040HA15
, 5F004AA16
, 5F004BA04
, 5F004BB18
, 5F004BB22
, 5F004BC08
, 5F004DA00
