特許

J-GLOBAL ID：201203002097317520

二次元位置決め装置

発明者： 佐藤 俊徳
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (5件)： 森 哲也 ,  小西 恵 ,  田中 秀▲てつ▼ ,  廣瀬 一 ,  宮坂 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-265228
公開番号（公開出願番号）：特開2012-118601
出願日： 2010年11月29日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】回転位置決めが可能でありながらXYの2次元の長ストローク化が容易で、且つ2次元位置決めテーブルを大形化する必要がない二次元位置決め装置を提供する。【解決手段】案内部材3aに案内されて移動する移動部材3bとこの移動部材3bを駆動する駆動機構3eとを有し、所定間隔を保って平行に配設された一対の直動機構3A,3Bと、該一対の直動機構の移動部材3bに支持されて前記案内部材3aと交差する方向に配設された案内部材4bに案内されて移動する移動部材4cとこの移動部材4cを駆動する駆動機構4fとを有し、前記一対の直動機構間に配設された交差直動機構4とを備え、前記交差直動機構4は、一端が前記直動機構の一方の移動部材に.配設された固定支持部材5に回動可能に支持され、他端が前記直動機構の他方の移動部材との間に配設された前記第1の案内部材と交差する方向に移動可能な可動支持部材6に回動可能に支持されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の案内部材に案内されて移動する第1の移動部材と当該第1の移動部材を駆動する第1の駆動機構とを有し、所定間隔を保って平行に配設された一対の直動機構と、 該一対の直動機構の移動部材に支持されて前記案内部材と交差する方向に配設された第2の案内部材に案内されて移動する第2の移動部材と当該第2の移動部材を駆動する第2の駆動機構とを有し、前記一対の直動機構間に配設された交差直動機構とを備え、 前記交差直動機構は、一端が前記直動機構の一方の移動部材に配設された固定支持部材に回動可能に支持され、他端が前記直動機構の他方の移動部材との間に配設された前記第1の案内部材と交差する方向に移動可能な可動支持部材に回動可能に支持されている ことを特徴とする二次元位置決め装置。

IPC (1件)：

G05D 3/00

FI (1件)：

G05D3/00 Q

Fターム (5件)：

5H303BB02 ,  5H303BB08 ,  5H303DD01 ,  5H303DD21 ,  5H303DD25

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-122508   出願人：株式会社目白プレシジョン
• 特開平3-243199
  
• 位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-293846   出願人：日本精工株式会社