特許

J-GLOBAL ID：200903057715848276

位置決め装置

発明者： 佐藤 俊徳
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
代理人 (2件)： 田村 敬二郎 ,  小林 研一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-293846
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101444
出願日： 2005年10月06日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】面精度を確保する面を最小にでき、駆動を精度良く行える位置決め装置を提供する。【解決手段】不図示の駆動装置を駆動することによって、X軸ステージ5はY軸ステージ3に対して第1の方向に駆動されるが、この駆動力は、連結部材10とテーブル9に伝達され、更に棒部材7を介してスライダ8に伝達される。このとき、連結部材10は、第1の方向においては剛性が高いので、X軸ステージ5に対して遅れなくテーブル9とスライダ8が追従することができ、第1の方向において高精度な駆動を実現できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ガイド面を有する基台と、 前記基台のガイド面上を移動可能なスライダと、 前記スライダを、前記基台に対して前記ガイド面に平行な第1の方向に駆動する第1ステージと、 前記スライダと前記第1ステージとを連結する連結部材と、を有し、 前記スライダと前記ガイド面との間には静圧軸受が設けられ、 前記連結部材は、前記第1の方向における剛性が、前記ガイド面に直交する方向における剛性より高くなっていることを特徴とする位置決め装置。

IPC (5件)：

G12B 5/00 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 1/58 ,  B23Q 1/62 ,  B23Q 1/38

FI (5件)：

G12B5/00 T ,  H01L21/68 K ,  B23Q1/58 Z ,  B23Q1/62 A ,  B23Q1/38 A

Fターム (16件)：

2F078CA01 ,  2F078CA03 ,  2F078CA08 ,  2F078CB09 ,  2F078CB15 ,  2F078CC06 ,  2F078CC16 ,  3C048BC01 ,  3C048CC07 ,  3C048DD01 ,  3C048DD06 ,  3C048EE07 ,  5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031LA03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 2軸移動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-266349   出願人：日本精工株式会社

審査官引用 (3件)

• 移動ステージ装置とこの移動ステージ装置を備えた走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-290325   出願人：日立建機株式会社
• X-Yステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-018578   出願人：住友重機械工業株式会社
• ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-313610   出願人：住友重機械工業株式会社