特許

J-GLOBAL ID：201203002783645363

流速センサ

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  ▲たか▼畑 智之 ,  菅 哲朗 ,  桑名 健太 ,  高橋 英俊 ,  グェン ミン ジューン
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (3件)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-001917
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145356
出願日： 2011年01月07日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】流路内の流体の流れの阻害や流速センサのエネルギー損失を少なくし、流路内の流体の流速を効率良く計測する流速センサ1を提供する。【解決手段】流路2を流れる流体の速度を計測する流速センサ1において、前記流路2に接続され、前記流路2をバイパスするバイパス路3と、前記バイパス路3内に設けられ、前記流路2の上流と下流の圧力差を計測する検知部7と、を備え、前記圧力差を計測することによって、前記流路2内の流体の流速を計測することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

流路を流れる流体の速度を計測する流速センサにおいて、 前記流路に接続され、前記流路をバイパスするバイパス路と、 前記バイパス路内に設けられ、前記流路の上流と下流の圧力差を計測する検知部と、 を備え、 前記圧力差を計測することによって、前記流路内の流体の流速を計測することを特徴とする流速センサ。

IPC (3件)：

G01F 1/34 ,  G01F 1/00 ,  G01P 5/14

FI (3件)：

G01F1/34 Z ,  G01F1/00 S ,  G01P5/14 J

Fターム (2件)：

2F030CA04 ,  2F030CF09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 流体帰還発振器および流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-048477   出願人：日本フローセル製造株式会社
• 流量計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-005177   出願人：株式会社オーバル
• ピエゾ抵抗素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273527   出願人：江刺正喜, 株式会社島津製作所