特許

J-GLOBAL ID：201203003184379210

誘導加熱装置および誘導加熱方法

発明者： 内田 直喜 ,  岡崎 良弘 ,  尾崎 一博
出願人/特許権者： 三井造船株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  出口 隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-178725
公開番号（公開出願番号）：特開2012-038622
出願日： 2010年08月09日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：

【課題】サセプタに対して水平磁束を与えつつ誘導加熱コイルを垂直方向に複数配置した場合であっても、誘導加熱コイル間における相互誘導の影響を抑制し、良好な加熱制御を可能とすることのできる半導体基板熱処理装置を提供する。【解決手段】水平配置されたサセプタ52上に載置されたウエハ54を間接加熱する熱処理装置10であって、サセプタ52の外周側に配置され、サセプタ52におけるウエハ54の載置面と平行な方向に交流磁束を形成する誘導加熱コイルを有し、前記誘導加熱コイルは、少なくとも1つの主加熱コイル30と、主加熱コイル30に電磁的に結合する従属加熱コイル32,34とから成り、主加熱コイル30には、従属加熱コイル32,34に対して電磁的に逆結合する逆結合コイル36,38が備えられ、隣接して配置される主加熱コイル30と従属加熱コイル32,34に投入する電流の周波数、電流波形を同期させつつ電力割合を個別に制御するゾーンコントロール手段22を設けたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水平配置され、かつ垂直方向に複数積層配置されたサセプタの外周側に配置され、前記サセプタにおける被加熱物載置面と巻回の中心軸を平行とし、前記サセプタの配置方向に沿って隣接して段積みされた複数の誘導加熱コイルと、 隣接配置された前記誘導加熱コイルが互いに減極性となるように電流を投入するインバータと、 隣接配置される前記複数の誘導加熱コイルに投入する電力割合を個別に制御するゾーンコントロール手段と、を有することを特徴とする誘導加熱装置。

IPC (5件)：

H05B 6/10 ,  H05B 6/44 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

H05B6/10 331 ,  H05B6/44 ,  H01L21/22 511A ,  H01L21/324 J ,  H01L21/205

Fターム (8件)：

3K059AA08 ,  3K059AB26 ,  3K059AB28 ,  3K059AD05 ,  3K059CD77 ,  3K059CD79 ,  5F045DP19 ,  5F045EK03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 板材用誘導加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-109816   出願人：三井造船株式会社
• 誘導加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-255352   出願人：三井造船株式会社

審査官引用 (4件)

• 板材用誘導加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-109816   出願人：三井造船株式会社
• 電磁誘導加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-004306   出願人：ソニー株式会社
• 誘導加熱定着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-096496   出願人：株式会社東芝, 東芝テック株式会社
• 誘導加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-255352   出願人：三井造船株式会社