特許
J-GLOBAL ID：201203005982623017
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
綿貫 隆夫
, 堀米 和春
, 岡村 隆志
, 平井 善博
, 傳田 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-180260
公開番号（公開出願番号）：特開2012-035393
出願日： 2010年08月11日
公開日（公表日）： 2012年02月23日
要約：
【課題】テンプレートの高さ精度を向上させることができ、精度よくワークの研磨を行える研磨装置を提供する。【解決手段】ワーク24を保持する研磨ヘッド41aと、表面に研磨布60が貼付された定盤56と、研磨ヘッド41aと定盤56とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置であって、研磨ヘッド41aが、リング状の側壁部12aを有する保持プレート12と、樹脂シート材45および樹脂シート材45の表面に形成された発泡樹脂層46からなり、保持プレート12の下面側を覆うようにして保持プレート12に周縁部で固定されたバッキング材44と、バッキング材44を押圧する圧力室32と、バッキング材44の下面の周縁部に固定され、ワーク24を囲んで保持するリング状のテンプレート40とを具備し、バッキング材44が、保持プレート12の側壁部12a下面に樹脂シート材45が直接または接着剤を介して当接するようにして固定されていることを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ワークを保持する研磨ヘッドと、表面に研磨布が貼付された定盤と、前記研磨ヘッドと定盤とを相対的に運動させる運動機構とを備える研磨装置であって、
前記研磨ヘッドが、
リング状の側壁部を有する保持プレートと、
単層または複層を成す樹脂シート材および該樹脂シート材の表面に形成された発泡樹脂層からなり、発泡樹脂層を下方に向けて前記保持プレートの下面側を覆うようにして保持プレートに周縁部で固定され、発泡樹脂層の下面でワークに当接して該ワークを前記定盤の研磨面へ押圧可能に設けられたバッキング材と、
前記保持プレートの下面側および前記バッキング材の上面との間に形成され、流体供給手段によって所定圧力の流体が供給され、バッキング材を押圧する圧力室と、
前記バッキング材の下面の周縁部に固定され、ワークを囲んで保持するリング状のテンプレートとを具備し、
前記バッキング材が、前記保持プレートのリング状の側壁部下面に樹脂シート材が直接または接着剤を介して当接するようにして前記保持プレートに固定されていることを特徴とする研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 37/30
, H01L 21/304
B24B37/04 E
, B24B37/04 L
, H01L21/304 622G
, H01L21/304 622K
3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058BA05
, 3C058CB02
, 3C058DA17
, 5F057AA02
, 5F057BA11
, 5F057CA11
, 5F057DA02
, 5F057FA14
, 5F057FA17
