特許
J-GLOBAL ID：201203006594874616

光学部材、センサ素子収納用パッケージ、センサ装置、光学部材の製造方法およびセンサ素子収納用パッケージの製造方法

発明者：
中尾 貴博

中尾 貴博 について

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大蔵 貴博

大蔵 貴博 について

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大久保 徹也

大久保 徹也 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-263829
公開番号（公開出願番号）：特開2012-112883
出願日： 2010年11月26日
公開日（公表日）： 2012年06月14日
要約：
【課題】製造工程によるガスの発生が低減されておりかつノイズ対策の施されたセンサ装置を実現すること。【解決手段】センサ素子収納用パッケージ1は、基体11と、開口部121を有しており基体11上に設けられるケース部材12と、開口部121に設けられた光学部材13とを含んでいる。光学部材13は、透光性を有する基板131と、基板131に形成されたDLC膜132aと、DLC膜132aの表面に形成された金属層133とを含んでいる。基板131は、平面透視において光学部材13の周囲領域においてDLC膜132aから部分的に露出されている。金属層133は、DLC膜132aの表面から光学部材13の周囲領域における基板131にかけて設けられている。基板131は、金属層133を介してケース部材12に電気的に接続されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透光性を有する基板と、 該基板の上面および下面の少なくとも一方に形成されたDLC膜と、 該DLC膜の表面に形成された金属層とを備えており、 前記基板が、平面透視において光学部材の周囲領域において前記DLC膜から部分的に露出されており、前記金属層が、前記DLC膜の表面から前記周囲領域における前記基板にかけて設けられていることを特徴とする光学部材。
IPC (1件)：
G01J 1/02
FI (1件)：
G01J1/02 C
Fターム (10件)：
2G065AA04 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BA14 ,  2G065BA36 ,  2G065BA37 ,  2G065BA38 ,  2G065CA01 ,  2G065CA12
引用特許：
審査官引用 (3件)

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