特許
J-GLOBAL ID:201203006996721352
圧電デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-292323
公開番号(公開出願番号):特開2012-142683
出願日: 2010年12月28日
公開日(公表日): 2012年07月26日
要約:
【課題】圧電振動素子の発振周波数変動を低減する事ができる圧電デバイスの提供。【解決手段】基板部110aと、この基板部の一方の主面に設けられる第1の枠部110bと、基板部の他方の主面に設けられる第2の枠部110cとからなる素子搭載部材110と、第1の凹部空間K1内に露出した基板部主面に設けられた圧電振動素子搭載パッド111に搭載の圧電振動素子120と、第2の凹部空間K2内に露出した基板部の主面に設けられたサーミスタ素子搭載パッド112に搭載されているサーミスタ素子140と、第1の凹部空間を気密封止する蓋部材130と、第2の枠部の基板部の他方の主面と同一方向を向く面の4角に2個一対の圧電振動素子用電極端子G1と2個一対のサーミスタ素子用電極端子G2とから構成される外部接続用電極端子Gと、を備え、前記サーミスタ素子用電極端子の1つが蓋部材と電気的に接続され、グランドと接続される構成。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板部と、この基板部の一方の主面に設けられる第1の枠部と、前記基板部の他方の主面に設けられる第2の枠部とからなる素子搭載部材と、
前記基板部と前記第1の枠部とで形成される第1の凹部空間内に露出した前記基板部の主面に設けられた圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、
前記基板部と前記第2の枠部とで形成される第2の凹部空間内に露出した前記基板部の主面に設けられたサーミスタ素子搭載パッドに搭載されているサーミスタ素子と、
前記第1の凹部空間を気密封止する蓋部材と、
前記第2の枠部の前記基板部の他方の主面と同一方向を向く面の4角に2個一対の圧電振動素子用電極端子と2個一対のサーミスタ素子用電極端子とから構成される外部接続用電極端子と、を備え、
前記2個一対のサーミスタ素子用電極端子の1つが前記蓋部材と電気的に接続され、グランドに接続されることを特徴とする圧電デバイス。
IPC (3件):
H03H 9/02
, H01L 23/02
, H01L 23/00
FI (5件):
H03H9/02 K
, H03H9/02 A
, H03H9/02 N
, H01L23/02 H
, H01L23/00 C
Fターム (13件):
5J108AA04
, 5J108BB02
, 5J108CC04
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE18
, 5J108FF11
, 5J108GG03
, 5J108GG16
, 5J108JJ03
, 5J108KK07
引用特許:
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