特許
J-GLOBAL ID：201203008441961970
液体試料加熱気化装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西村 竜平
, 佐藤 明子
, 齊藤 真大
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-159767
公開番号（公開出願番号）：特開2012-020227
出願日： 2010年07月14日
公開日（公表日）： 2012年02月02日
要約：
【課題】液体試料の温度制御の応答性及び精度を向上させる。【解決手段】液体試料を貯留する気化タンク21と、気化タンク21内に設けられ、液体試料に接触して加熱する加熱部22hを有する1又は複数のヒータ22と、ヒータ22の加熱部22hを含む外表面に接触して設けられ、当該外表面の温度を検出する温度検出部と、温度検出部からの温度検出信号を受け付けて、前記ヒータ22に供給する電力を制御する制御部25とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体試料を導入する導入ポート及び気化した液体試料を導出する導出ポートを有し、液体試料を貯留する気化タンクと、
前記気化タンク内に設けられ、液体試料に接触して加熱する加熱部を有する1又は複数のヒータと、
前記ヒータの加熱部を含む外表面に接触して設けられ、当該外表面の温度を検出するヒータ温度検出部と、
前記ヒータ温度検出部からの温度検出信号を受け付けて、前記ヒータに供給する電力を制御する制御部とを備える液体試料加熱気化装置。
IPC (3件)：
B01J 7/02
, H05B 3/00
, H01L 21/205
B01J7/02 Z
, H05B3/00 310D
, H05B3/00 330Z
, H01L21/205
3K058AA42
, 3K058AA73
, 3K058BA11
, 3K058CA23
, 3K058CA52
, 3K058CB02
, 4G068DA04
, 4G068DB04
, 4G068DD03
, 4G068DD11
, 4G068DD15
, 5F045EE02
