特許
J-GLOBAL ID:201203011596799313

レーザビーム照射装置及び該レーザビーム照射装置を備える基板密封装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 三好 秀和 ,  伊藤 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-041788
公開番号(公開出願番号):特開2012-011457
出願日: 2011年02月28日
公開日(公表日): 2012年01月19日
要約:
【課題】レーザビーム照射装置及び該レーザビーム照射装置を備える基板密封装置を提供する。【解決手段】レーザ発振器と、レーザ発振器から発振されたレーザビームを伝送する光ファイバと、光ファイバの末端が収容され、レーザビームの照射方向に直交する平面上で直線運動する光学鏡筒と、光学鏡筒と光ファイバの末端との間に位置し、一端が光ファイバを支持し、レーザビームの方向に直交する平面上で、相互直交する方向に直線往復動する一対の圧電変換器と、を備えるレーザビーム照射装置である。【選択図】図4
請求項(抜粋):
レーザ発振器と、 前記レーザ発振器から発振されたレーザビームを伝送する光ファイバと、 前記光ファイバの末端が収容され、前記レーザビームの照射方向に直交する平面上で直線運動する光学鏡筒と、 前記光学鏡筒と前記光ファイバの末端との間に位置し、一端が前記光ファイバを支持し、前記レーザビームの方向に直交する平面上で、相互直交する方向に直線往復動する一対の圧電変換器と、を備えるレーザビーム照射装置。
IPC (2件):
B23K 26/08 ,  B23K 26/06
FI (3件):
B23K26/08 B ,  B23K26/08 K ,  B23K26/06 J
Fターム (5件):
4E068CA02 ,  4E068CD10 ,  4E068CE03 ,  4E068CE08 ,  4E068DB07
引用特許:
審査官引用 (4件)
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