特許
J-GLOBAL ID：201203013994286620
シート貼付装置及び貼付方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-201863
公開番号（公開出願番号）：特開2012-059928
出願日： 2010年09月09日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】構造の簡略化を図りつつ、接着シートの凹部を半導体ウエハ等の被着体に位置合わせした状態で、それらを貼付できるようにすること。【解決手段】シート貼付装置10は、半導体ウエハWを支持可能な支持面21を有する支持手段11と、接着シートSを支持面21に臨むように繰り出す繰出手段12と、接着シートSに形成された凹部Cの位置を検出する凹部検出手段13と、支持面21に半導体ウエハWを載置するための多関節ロボット15及び搬送アーム82と、支持手段11に支持された半導体ウエハWに接着シートSを押圧して貼付する押圧手段18と備えて構成されている。多関節ロボット15は、凹部検出手段13の検出結果に基づいて作動することにより、凹部中心位置DCと半導体ウエハ中心位置WCとが一致するよう半導体ウエハWを支持面21上に載置する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層に所定間隔毎に凹部が形成された接着シートを被着体の一方の面に貼付するシート貼付装置において、
前記被着体の他方の面側から当該被着体を支持可能な支持面を有する支持手段と、前記接着シートを前記支持面に臨むように繰り出す繰出手段と、前記支持面に臨むように繰り出された接着シートにおける前記凹部の位置を検出する凹部検出手段と、前記支持面に被着体を載置可能な搬送手段と、前記接着シートを基材シート側から押圧して前記被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記搬送手段は、前記凹部検出手段の検出結果に基づいて、前記凹部が前記被着体の所定の位置に配置されて前記接着シートが貼付されるように当該被着体を前記支持面上に載置することを特徴とするシート貼付装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683
, H01L 21/304
H01L21/68 N
, H01L21/304 622J
5F031CA02
, 5F031DA15
, 5F031GA08
, 5F031GA45
, 5F031JA04
, 5F031JA10
, 5F031JA14
, 5F031JA22
, 5F031JA34
, 5F031JA35
, 5F031JA38
, 5F031LA07
, 5F031LA08
, 5F031LA15
, 5F031MA37
, 5F057AA35
, 5F057FA30
