特許
J-GLOBAL ID：200903096036764328

シート貼付装置及び貼付方法

発明者：
小林 賢治

小林 賢治 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-092228
公開番号（公開出願番号）：特開2009-246196
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】半導体ウエハ等の凸部を有する被着体の当該凸部を保護する凹部を有する接着シートを貼付することができる接着シートを貼付すること。【解決手段】シート貼付装置10は、剥離シートRLの一方の面に接着剤Aと基材シートBSからなる接着シートSが仮着された原反Rを繰出可能に支持する支持ローラ11と、接着剤層Aに前記凹部Cを形成する凹部形成手段14と、半導体ウエハWに接着シートSを貼付する貼付手段13と、この貼付手段13により貼付された接着シートSをウエハWの形状に沿って切断する切断手段16とを備えて構成されている。凹部形成手段14は、凹部Cに対応する平面形状に設けられた押圧面21Aを有するプレス部材21と、このプレス部材21に対し、接着シートSを挟んで相対配置されたプラテン22と、プレス部材21とプラテン22とにより押圧面21Aを接着剤層Aに押圧する押圧手段23とを備えている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートを所定間隔で繰り出す繰出手段と、前記繰り出された接着シートの接着剤層に凹部を形成する凹部形成手段と、被着体を保持するとともに、凹部が形成された接着シートを当該被着体の所定位置に貼付する貼付手段と、この貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/304 622J
Fターム (4件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA78 ,  5F031MA37
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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