特許
J-GLOBAL ID:201203015432407002

光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-202194
公開番号(公開出願番号):特開2012-058527
出願日: 2010年09月09日
公開日(公表日): 2012年03月22日
要約:
【課題】環境温度などによる共振周波数の変動を調整可能な光偏向器を提供する。【解決手段】固定ベース60と、光反射面を有するミラー部10と、ミラー部10を揺動可能に支持する弾性支持部材20と、一端が固定ベース60に接続され、他端が弾性支持部材20に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された一対の振動梁50とを備え、振動梁50は、交流電圧を印加することで、弾性支持部材20に捻り変形を発生して、ミラー部10を所望共振周波数で回転振動せしめる駆動梁30と、直流電圧を印加することで、弾性支持部材20に応力を与えて、共振周波数を調整する周波数調整梁40とで構成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
固定ベースと、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する弾性支持部材と、一端が前記固定ベースに接続され、他端が前記弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された振動梁とを有し、 前記振動梁は、交流電圧を印加することで、前記弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記ミラー部を所望共振周波数で回転振動せしめる駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記弾性支持部材に応力を与えて、前記共振周波数を調整する周波数調整梁とで構成されていることを特徴とする光偏向器。
IPC (3件):
G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113
FI (3件):
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  H04N1/04 104Z
Fターム (28件):
2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB24 ,  2H045AB26 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA13 ,  2H045BA24 ,  2H045BA32 ,  2H045CB65 ,  3C081AA13 ,  3C081BA11 ,  3C081BA28 ,  3C081BA43 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081CA44 ,  3C081EA08 ,  3C081EA14 ,  5C072AA03 ,  5C072BA12 ,  5C072DA04 ,  5C072DA23 ,  5C072HA02 ,  5C072HA14 ,  5C072HB15
引用特許:
審査官引用 (3件)

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