特許

J-GLOBAL ID：200903007071301109

2次元光スキャナ及び光学装置

発明者： 安田 喜昭 ,  谷 雅直 ,  赤松 雅洋
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
代理人 (2件)： 丹羽 宏之 ,  野口 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-386553
公開番号（公開出願番号）：特開2005-148459
出願日： 2003年11月17日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】 マイクロマシニングプロセスによって一体形成可能であるとともに、小型で2次元走査可能な光スキャナ及び該光スキャナを用いて構成した光学装置を提供する。【解決手段】 空隙11′を持つ支持基板11の内側に、反射膜2を有するミラー部1と、ミラー部1を囲み第1のトーションバー4a、4bを介してミラー部1を支持する内部可動枠3を備える。また、第1のトーションバー4a、4bと軸方向が直交する第2のトーションバー12a、12bを介して内部可動枠3を支持基板11に軸支し、かつ、一端が支持基板11に保持され他端が弾性体を介して内部可動枠3に接続された第1の振動板6a、6b、6c、6dと、一端が内部可動枠3に保持され他端が弾性体を介してミラー部1に接続された第2の振動板14a、14b、14c、14dを備え、該圧電ユニモルフの駆動によって内部可動枠3及びミラー部1に回転トルクを作用させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

空洞部を持つ支持体の内側に、反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を囲み第1のトーションバーを介して該ミラー部を支持する内部可動枠を備えるとともに、前記第1のトーションバーと軸方向が直交する第2のトーションバーを介して前記内部可動枠を前記支持体に軸支し、かつ、一端が前記支持体に保持され他端が弾性体を介して前記内部可動枠に接続された第1の圧電ユニモルフ振動板と、一端が前記内部可動枠に保持され他端が弾性体を介して前記ミラー部に接続された第2の圧電ユニモルフ振動板とを備え、該圧電ユニモルフの駆動によって前記内部可動枠及びミラー部に回転トルクを作用させることにより、前記第1及び第2のトーションバーを2軸としてミラー部を回動させて、該ミラー部の反射面に入射する光の反射光を2次元的に走査することを特徴とする2次元光スキャナ。

IPC (3件)：

G02B26/10 ,  B41J2/44 ,  B81B3/00

FI (3件)：

G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B41J3/00 D

Fターム (5件)：

2C362BA17 ,  2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81

引用特許：

出願人引用 (2件)

• プレーナー型ガルバノミラー及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-320524   出願人：日本信号株式会社, 江刺正喜
• 光スキャナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-346285   出願人：オムロン株式会社

審査官引用 (3件)

• 光偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-092094   出願人：日本ビクター株式会社
• プレーナ型アクチュエータ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-072026   出願人：日本信号株式会社
• ガルバノミラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-370399   出願人：オリンパス光学工業株式会社