物理量センサー及び電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：村上友一 , 出口隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-004998
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145493
出願日： 2011年01月13日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】高い検出感度を有する小型の物理量センサー及びこれを用いた電子機器を提供する。【解決手段】ベース基板12上の第1軸の方向に配置され、振動可能な一対の第1可動質量部(34A、34B)と、第2軸の方向に配置され、振動可能な一対の第2可動質量部(40A、40B)と、第1可動質量部及び第2可動質量部を互いに逆相に振動させる振動手段と、第1可動質量部及び第2可動質量部の少なくとも一方に設けられ、3軸のうち少なくとも一つの軸回りに発生する力を検知する力検出手段とを備え、第1可動質量部には、第2軸の両方向に延出する第1アーム28が設けられ、第2可動質量部には、第1軸の両方向に延出する第2アーム30が設けられ、第1アーム28及び第2アーム30は、両アームが交わる位置に配置され、且つベース基板12に固定された支持部32により支持されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに直交する3つの軸を、第1軸、第2軸、第3軸としたとき、基板上の前記第1軸の方向に配置され、前記第1軸の方向に振動可能な一対の第1可動質量部と、前記基板上の前記第2軸の方向に配置され、前記第2軸の方向に振動可能な一対の第2可動質量部と、前記一対の第1可動質量部及び前記一対の第2可動質量部の少なくとも一方をそれぞれ互いに逆相に振動させる振動手段と、前記第1可動質量部及び前記第2可動質量部の少なくとも一方に設けられ、前記第1軸乃至前記第3軸の少なくとも一つの軸回りに発生する力を検知する力検出手段と、を備え、前記第1可動質量部には、前記第1可動質量部から前記第2軸の両方向に延出する第1アームが設けられ、前記第2可動質量部には、前記第2可動質量部から前記第1軸の両方向に延出する第2アームが設けられ、前記第1アーム及び前記第2アームは、前記第1アームと前記第2アームとが交わる位置に配置され且つ前記基板に固定された支持部により支持されたことを特徴とする物理量センサー。

IPC (1件)：

G01C 19/56

FI (1件)：

G01C19/56

Fターム (7件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13

引用特許：

審査官引用 (4件)

微小機械回転速度センサ
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-503398 出願人：コンティテミックマイクロエレクトロニックゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
ソリッドステート多軸ジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-519057 出願人：ビーティージー・インターナショナル・リミテッド
垂直方向に集積した電子回路およびウェハ・スケール密封包装を含むX-Y軸二重質量音叉ジャイロスコープ
公報種別：公表公報出願番号：特願2006-536699 出願人：インベンセンスインコーポレイテッド

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