微小機械回転速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中平治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-503398
公開番号（公開出願番号）：特表2009-529697
出願日： 2007年03月12日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：

本発明は、微小機械回転速度センサであって、基板(9)、少なくとも1つのばね素子(11,11’)により基板(9)に懸架されかつ少なくとも1つの地震質量(3)を含む基礎素子(1)、励振手段(6)及び読取り装置(15)を持っているものに関する。本発明によれば、ばね素子(11,11’)が基礎素子(1)の運動方向に対して運動可能である。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

微小機械回転速度センサであって、基板(9)、少なくとも1つのばね素子(11,11’)により基板(9)に懸架されかつ少なくとも1つの地震質量(3)を含む基礎素子(1)、励振手段(6)及び読取り装置(15)を持っているものにおいて、ばね素子(11,11’)が基礎素子(1)の運動方向に対して直角に運動可能であることを特徴とする、電気機械回転速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , B81B 3/00 , G01P 9/04

FI (3件)：

G01C19/56 , B81B3/00 , G01P9/04

Fターム (14件)：

2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA08 , 2F105CC04 , 2F105CC11 , 2F105CD01 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 3C081AA01 , 3C081BA44 , 3C081BA46 , 3C081BA47 , 3C081BA48 , 3C081EA02

引用特許：

審査官引用 (6件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-340439 出願人：株式会社村田製作所
複合センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159047 出願人：日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
物理量検出センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-128254 出願人：ミツミ電機株式会社

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