特許
J-GLOBAL ID：201203019203259658

固体撮像装置、および、その製造方法、電子機器

発明者：
渡辺 一史

渡辺 一史 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-030840
公開番号（公開出願番号）：特開2012-169530
出願日： 2011年02月16日
公開日（公表日）： 2012年09月06日
要約：
【課題】撮像画像の画像品質を向上させる。【解決手段】半導体基板101の画素分離部301に形成されたトレンチTRの内部に第1遮光部313Aを設ける。これと共に、その第1遮光部313Aの上面側に第2遮光部313Bを設ける。ここでは、画素領域PAの中心よりも周辺において、第2遮光部313Bの中心が、画素分離部301の中心に対して、画素領域PAの周辺の側へ多くシフトするように、第2遮光部313Bを形成する。つまり、少なくとも第2遮光部について「瞳補正」を実施する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
半導体基板の画素領域に間を隔てて並ぶ複数の画素のそれぞれに対応して、複数が前記半導体基板の内部に設けられており、入射光を受光面で受光する光電変換部と、 前記画素領域において前記複数の画素の間に介在するように前記半導体基板の内部に設けられている画素分離部と を有し、 前記画素分離部は、 前記半導体基板の前記入射面側に形成されたトレンチの内部に設けられている第1遮光部と、 前記半導体基板の前記入射面側の面上であって、前記第1遮光部の前記入射面側に設けられている第2遮光部と を少なくとも含み、 前記第2遮光部は、前記画素領域の中心よりも周辺において、当該第2遮光部の中心が、前記画素分離部の中心に対して、前記画素領域の周辺の側へ多くシフトするように形成されている、 固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/374
FI (3件)：
H01L27/14 A ,  H01L27/14 D ,  H04N5/335 740
Fターム (35件)：
4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA04 ,  4M118CA18 ,  4M118CA32 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14 ,  4M118FA25 ,  4M118FA26 ,  4M118FA27 ,  4M118FA28 ,  4M118FA33 ,  4M118GA02 ,  4M118GB03 ,  4M118GB06 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GD03 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX03 ,  5C024GX16 ,  5C024GX18 ,  5C024GX24 ,  5C024GY31
引用特許：
審査官引用 (5件)
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