特許
J-GLOBAL ID：201203020819359174
レーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 伊藤 憲二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-035620
公開番号（公開出願番号）：特開2012-170985
出願日： 2011年02月22日
公開日（公表日）： 2012年09月10日
要約：
【課題】被加工物に照射するレーザビームの本数を容易に変更可能なレーザ加工装置を提供する。【解決手段】レーザビーム照射手段は、レーザビーム69を発生するレーザビーム発生手段と、該レーザビーム発生手段が発生したレーザビームを集光して被加工物に照射する集光レンズと、該レーザビーム発生手段と該集光レンズとの間の光路に配設され、該レーザビーム発生手段が発生したレーザビームを複数のレーザビームに分岐するレーザビーム分岐手段74とを含み、該レーザビーム分岐手段は、レーザビームを分岐する分岐数が互に異なる複数の回折光学素子82a〜82gと、該複数の回折光学素子の内の一つを選択的にレーザビームの光路に位置付ける位置付け手段とを含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段と、該チャックテーブルと該レーザビーム照射手段とを相対的に加工送りする加工送り手段と、該チャックテーブルと該レーザビーム照射手段とを相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを備えたレーザ加工装置であって、
該レーザビーム照射手段は、レーザビームを発生するレーザビーム発生手段と、該レーザビーム発生手段が発生したレーザビームを集光して被加工物に照射する集光レンズと、該レーザビーム発生手段と該集光レンズとの間の光路に配設され、該レーザビーム発生手段が発生したレーザビームを複数のレーザビームに分岐するレーザビーム分岐手段とを含み、
該レーザビーム分岐手段は、レーザビームを分岐する分岐数が互に異なる複数の回折光学素子と、該複数の回折光学素子の内の一つを選択的にレーザビームの光路に位置付ける位置付け手段とを含むことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
4E068AE00
, 4E068CA02
, 4E068CA03
, 4E068CA04
, 4E068CB08
, 4E068CD04
, 4E068CD08
, 4E068CE04
, 4E068DA10
