特許
J-GLOBAL ID：201203022328706592

振動式トランスデューサ

発明者：
吉田 隆司

吉田 隆司 について


出願人/特許権者：
横河電機株式会社

横河電機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-060683
公開番号（公開出願番号）：特開2012-198036
出願日： 2011年03月18日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。【解決手段】真空室33内に設けられ基板31に対して引張の応力が付与され基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有し基板に平行に且つ互いに平行に設けられた第1,第2のシリコン単結晶の振動梁32a、32bと、基板面に平行に設けられ第1,第2の振動梁の一端に接続される板状の第1の電極板34aと、基板面に平行に設けられ第1,第2の振動梁の間に設けられた第2の電極板34bと、第1,第2の振動梁の両側に第1,第2の振動梁を挟んで且つ第1,第2の振動梁と第1,第2の電極板と共に基板面に平行な一平面状をなす板状の第3,第4の電極板34c、34dと、振動梁と第2、第3,第4の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部37とを具備した。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶の基板に設けられた振動梁と、該振動梁の周辺に隙間が維持されるように該振動梁を囲み前記基板と共に真空室を構成するシリコン材よりなるシェルと、前記振動梁を励振する励振手段と、前記振動梁の振動を検出する振動検出手段と、を具備し、前記振動梁の共振周波数を測定することにより前記振動梁に印加された歪を測定する振動式トランスデューサにおいて、 前記真空室内に設けられ前記基板に対して引張の応力が付与され前記基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有し、前記基板に平行に且つ互いに平行に設けられた第1,第2のシリコン単結晶の振動梁と、 前記基板面に平行に設けられ前記第1,第2の振動梁の一端に接続される板状の第1の電極板と、 前記基板面に平行に設けられ前記第1,第2の振動梁の間に設けられた第2の電極板と、 前記第1,第2の振動梁の両側に前記第1,第2の振動梁を挟んで且つ前記第1,第2の振動梁と前記第1,第2の電極板と共に前記基板面に平行な一平面状をなす板状の第3,第4の電極板と、 前記振動梁と第2,第3,第4の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部と、 を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサ。
IPC (3件)：
G01L 9/00 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00
FI (3件)：
G01L9/00 307 ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00
Fターム (51件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055CC54 ,  2F055DD05 ,  2F055EE39 ,  2F055FF07 ,  2F055FF43 ,  2F055FF49 ,  2F055GG11 ,  3C081AA13 ,  3C081BA30 ,  3C081BA44 ,  3C081BA45 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA29 ,  3C081EA02 ,  3C081EA03 ,  4M112AA01 ,  4M112AA02 ,  4M112AA10 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA07 ,  4M112DA09 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112EA18 ,  4M112FA01 ,  4M112FA02 ,  4M112FA07 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03
引用特許：
出願人引用 (6件)
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