特許

J-GLOBAL ID：201203022904797876

位置決めテーブル装置

発明者： 中村 剛
出願人/特許権者： 日本精工株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-100585
公開番号（公開出願番号）：特開2012-232354
出願日： 2011年04月28日
公開日（公表日）： 2012年11月29日
要約：

【課題】保持トルクによるモータの発熱を抑え、且つ装置の振動を抑制した位置決めテーブル装置を提供することを目的とする。【解決手段】被搭載物を搭載可能であり略鉛直方向に移動可能なメインテーブルと、該メインテーブルに縦方向上下いずれかに並んで略鉛直方向に移動可能なウエイトと、を有し、前記メインテーブルと前記ウエイトは同軸の駆動ねじ軸によって駆動され、前記メインテーブルの重量による前記駆動ねじ軸の回転方向と、前記ウエイトの重量による前記駆動ねじ軸の回転方向とは、互いに逆方向であることを特徴とする位置決めテーブル装置を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被搭載物を搭載可能であり略鉛直方向に移動可能なメインテーブルと、該メインテーブルに縦方向上下いずれかに並んで略鉛直方向に移動可能なウエイトと、を有し、前記メインテーブルと前記ウエイトは同軸の駆動ねじ軸によって駆動され、前記メインテーブルの重量による前記駆動ねじ軸の回転方向と、前記ウエイトの重量による前記駆動ねじ軸の回転方向とは、互いに逆方向であることを特徴とする位置決めテーブル装置。

IPC (2件)：

B23Q 1/72 ,  B23Q 1/58

FI (2件)：

B23Q1/72 A ,  B23Q1/58 Z

Fターム (4件)：

3C048BC02 ,  3C048DD02 ,  3C048DD06 ,  3C048EE06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 反力減衰駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-056880   出願人：NECマシナリー株式会社
• 縦型基板ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-281909   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平3-003398