特許
J-GLOBAL ID：201203023252448854

化合物、樹脂及びレジスト組成物

発明者：
金 亨柱

金 亨柱 について

, 
釜淵 明

釜淵 明 について

, 
向井 優一

向井 優一 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (2件)： 中山 亨 ,  坂元 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-153726
公開番号（公開出願番号）：特開2012-017264
出願日： 2010年07月06日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：
【課題】優れたラインエッジラフネス及び露光マージンを有するパターンを形成することが可能なレジスト組成物の樹脂用のモノマーを提供する。【解決手段】式(I)で表される化合物。[式(I)中、R1は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有してもよい炭素数1〜6のアルキル基を表す。A1は、2価の連結基を表す。X1は、炭素数2〜36の複素環基を表し、該複素環基に含まれる-CH2-は、-CO-又は-O-で置き換わっていてもよい。R2は、ハロゲン原子、水酸基、炭素数1〜24の炭化水素基、炭素数1〜12のアルコキシ基、炭素数2〜4のアシル基又は炭素数2〜4のアシルオキシ基を表す。mは、0〜10の整数を表す。]【選択図】なし
請求項（抜粋）：
式(I)で表される化合物。
IPC (5件)：
C07D 275/06 ,  G03F 7/039 ,  C08F 16/36 ,  C08F 20/60 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
C07D275/06 ,  G03F7/039 601 ,  C08F16/36 ,  C08F20/60 ,  H01L21/30 502R
Fターム (33件)：
2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF38P ,  2H125AH17 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH23 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN65P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4C033AA11 ,  4C033AA12 ,  4C033AA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AM21P ,  4J100BA03P ,  4J100BA12P ,  4J100BC83P ,  4J100CA01 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (10件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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