特許

J-GLOBAL ID：201203026295323990

ホモアダマンタン誘導体、その製造方法及びフォトレジスト組成物

発明者： 田中 慎司 ,  上野山 義崇 ,  大野 英俊 ,  河野 直弥 ,  伊藤 克樹
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (3件)： 渡辺 喜平 ,  田中 有子 ,  佐藤 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-180908
公開番号（公開出願番号）：特開2012-041274
出願日： 2010年08月12日
公開日（公表日）： 2012年03月01日
要約：

【課題】ポジ型フォトレジストに用いたときに、ラフネス低減、溶解性、相溶性、ディフェクト低減、露光感度等に優れる重合体及びこれを与える単量体を提供する。【解決手段】下記式(I)で表される化合物。式中、R1は水素原子、ハロゲン原子、メチル基又はトリフルオロメチル基を表す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(I)で表される化合物。

IPC (3件)：

C07D 493/08 ,  G03F 7/039 ,  C08F 20/28

FI (3件)：

C07D493/08 C ,  G03F7/039 601 ,  C08F20/28

Fターム (32件)：

2H125AF17P ,  2H125AF36P ,  2H125AH17 ,  2H125AH20 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ69X ,  2H125AN39P ,  2H125CA12 ,  2H125CB08 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4C071AA03 ,  4C071AA08 ,  4C071BB02 ,  4C071CC11 ,  4C071DD40 ,  4C071EE08 ,  4C071FF18 ,  4C071HH05 ,  4C071HH08 ,  4C071KK11 ,  4C071LL03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03R ,  4J100BA11P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC53P ,  4J100CA05 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 4-オキサトリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン-5-オン誘導体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-248083   出願人：ダイセル化学工業株式会社
• フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-069001   出願人：住友化学株式会社

審査官引用 (2件)

• 4-オキサトリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン-5-オン誘導体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-248083   出願人：ダイセル化学工業株式会社
• フォトレジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-069001   出願人：住友化学株式会社

引用文献：

出願人引用 (1件)

• Journal of Organic Chemistry, 1981, Vol.46, No.26, pp.5332-5336

審査官引用 (1件)

• Journal of Organic Chemistry, 1981, Vol.46, No.26, pp.5332-5336