特許
J-GLOBAL ID:201203028592146188
物理量検出装置および電子機器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-100840
公開番号(公開出願番号):特開2012-233730
出願日: 2011年04月28日
公開日(公表日): 2012年11月29日
要約:
【課題】物理量の入力に対して、高い線形性をもって容量素子の構造体が変位する物理量検出装置を提供すること。【解決手段】物理量検出装置は、物理量に応じて変位する構造体を有し、前記構造体の変位に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に一定の電荷を供給する電荷供給回路と、前記電荷供給回路により電荷が供給された後で、前記物理量検出素子の静電容量に応じた信号を出力する出力回路とを有する。【選択図】図6
請求項(抜粋):
物理量に応じて変位する構造体を有し、前記構造体の変位に応じて静電容量が変化する
物理量検出素子と、
前記物理量検出素子に一定量の電荷を供給する電荷供給回路と、
前記電荷供給回路により前記一定量の電荷が供給された後で、前記物理量検出素子の静
電容量に応じた信号を出力する出力回路と
を有する物理量検出装置。
IPC (3件):
G01P 15/125
, G01C 19/572
, H01L 29/84
FI (3件):
G01P15/125 Z
, G01C19/56 226
, H01L29/84 Z
Fターム (22件):
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105AA10
, 2F105BB01
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
, 4M112AA01
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA04
, 4M112CA11
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112CA31
, 4M112EA03
, 4M112FA02
, 4M112GA03
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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