特許
J-GLOBAL ID：201203028745662040
プラズマ処理装置、搬送キャリア、及びプラズマ処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
田中 光雄
, 鮫島 睦
, 前堀 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-120452
公開番号（公開出願番号）：特開2012-248741
出願日： 2011年05月30日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：
【課題】保持シートに保持された基板を対象とするプラズマ処理において、保持シートを覆うカバーから基板への輻射熱を効果的に抑制する。【解決手段】搬送キャリア5は、ウエハ2を保持する保持シート6とフレーム7とを有する。保持シート6とフレーム7を覆うカバー31の本体32の下面32bには突出部34が設けられている。突出部34は保持シート6に設けられた開口部8を貫通し、先端34aが電極部21の上端面21aに接触する。電極部21を含むステージ部16は冷却装置24で冷却される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
減圧可能なチャンバと、
前記チャンバ内にプラズマを発生させるプラズマ源と、
基板を保持した保持シートと、前記保持シートが取り付けられたフレームと、前記保持シートの前記基板と前記フレームとの間の位置に厚み方向に貫通するように設けられた開口部とを備える、前記チャンバに対して搬入出可能な搬送キャリアと、
前記チャンバ内に設けられて前記搬送キャリアが載置されるステージと、
前記保持シートと前記フレームとを覆うための本体と、前記本体に厚み方向に貫通するように形成された窓部と、前記本体から突出する前記保持シートの前記開口部に対応する突出部とを備えるカバーと、
前記ステージから離れて前記ステージに対する前記搬送キャリアの載せ降ろしを許容する第1の位置と、前記本体が前記ステージに載置された前記搬送キャリアの前記保持シートと前記フレームとを覆い、前記窓部が前記保持シートに保持された前記基板を露出させ、かつ前記突出部が前記保持シートの前記開口部を通って前記ステージまで延びて接触する第2の位置とに前記カバーを移動させるカバー駆動機構と
を備えるプラズマ処理装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5F004AA16
, 5F004BB22
, 5F004BB23
, 5F004BB25
, 5F004EB04
審査官引用 (3件)
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プラズマ処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2007-266337
出願人：パナソニック株式会社
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プラズマ処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-149995
出願人：松下電器産業株式会社
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部品搬送用治具
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-246705
出願人：松下電器産業株式会社
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